SCHWEFELHEXAFLUORID N50 (UHP)
SF6
Air Liquide liefert Schwefelhexafluorid - sicher und für jeden Kunden maßgeschneidert.
Applications:
•Labor & Forschung
•Halbleiter-Industrie: Plasmaätzen
Applications:
•Labor & Forschung
•Halbleiter-Industrie: Plasmaätzen
PRODUCT DETAILS
| Reference | P0964 |
| Physical state | flüssig |
| Relative density of a gas | 5 (luft=1) |
| Molar mass | 146 g/mol |
| Cylinder fittings | DIN 477 Nr. 6: W 21,80 x 1/14'' |
| CAS number | 2551-62-4 |
| Components | SF6 ≥ 99,999 % |
| Total purity (%) (absolute volume) | > 99,999 Vol. % |
| Impurities (please refer to the product data sheet for further details) |
CF4
≤ 1 Vol. ppm
CO ≤ 0,1 Vol. ppm CO2 ≤ 0,5 Vol. ppm H2O ≤ 3 Vol. ppm CH4 ≤ 1 Vol. ppm HF ≤ 0,1 Gew. ppm N2 ≤ 3 Vol. ppm O2 ≤ 1 Vol. ppm |
| Appearance | farblos |
| Smell | geruchlos |
| Certificate | ohne Zertifikat / ohne Anhänger |
| Shelf life | 60 Monate |
| Further information | Produkt ist deutschlandweit lieferbar.Auch erhältlich in 2 L (2 kg) und 10 L (10kg) Zylindern. Enthält fluorierte Treibhausgase. CO2 Äquivalente: 2 L = 45,6 t; 10 L = 228 t; 50 L = 1.368 t |
SAFETY:
Hazard labelling: Erstickungsgefahr bei hoher Konzentration
Flammability range: nicht brennbar
SDS typ: Verflüssigtes gas
Hazard labelling: Erstickungsgefahr bei hoher Konzentration
Flammability range: nicht brennbar
SDS typ: Verflüssigtes gas
TRANSPORT:
Delivery method:Flüssiges Gas
UN number: 1080
ADR class: 2
Classification: 2A
ADR Piktogramm:
Delivery method:Flüssiges Gas
UN number: 1080
ADR class: 2
Classification: 2A
ADR Piktogramm:
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