SCHWEFELHEXAFLUORID N50 (UHP)
SF6
Air Liquide liefert Schwefelhexafluorid - sicher und für jeden Kunden maßgeschneidert.
Anwendungen:
•Labor & Forschung
•Halbleiter-Industrie: Plasmaätzen
Anwendungen:
•Labor & Forschung
•Halbleiter-Industrie: Plasmaätzen
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PRODUKTDATEN
| Referenz | P0964 |
| Physikalischer Zustand | flüssig |
| Gasförmige relative Dichte | 5,125 |
| Molmasse | 146 g/mol |
| Zylinderausstattung | DIN 477 Nr. 6: W 21,80 x 1/14'' |
| CAS-Nummer | 2551-62-4 |
| Komponenten | SF6 > 99,999 % |
| Gesamtreinheit (%) Vol. abs) | > 99,999 Vol. % |
| Verunreinigungen (alle weiteren Details finden Sie im Produktdatenblatt) |
CF4
≤ 1 Vol. ppm
CO ≤ 0,1 Vol. ppm CO2 ≤ 0,5 Vol. ppm H2O ≤ 3 Vol. ppm CH4 ≤ 1 Vol. ppm HF ≤ 0,1 Gew. ppm N2 ≤ 3 Vol. ppm O2 ≤ 1 Vol. ppm |
| Ergänzende Informationen | Produkt ist deutschlandweit lieferbar.Auch erhältlich in 2 L (2 kg) und 10 L (10kg) Zylindern. Enthält fluorierte Treibhausgase. CO2 Äquivalente: 2 L = 45,6 t; 10 L = 228 t; 50 L = 1.368 t |
| Aussehen | farblos |
| Geruch | geruchlos |
| Zertifikat | ohne Zertifikat / ohne Anhänger |
| Lagerfähigkeit | 60 Monate |
| Zusätzliche Informationen | Produkt ist deutschlandweit lieferbar.Auch erhältlich in 2 L (2 kg) und 10 L (10kg) Zylindern. Enthält fluorierte Treibhausgase. CO2 Äquivalente: 2 L = 45,6 t; 10 L = 228 t; 50 L = 1.368 t |
SICHERHEIT:
Gefahrenkennzeichnung: Erstickungsgefahr bei hoher Konzentration
Entflammbarkeitsbereich: nicht brennbar
SDS-Typ: Verflüssigtes gas
Gefahrenkennzeichnung: Erstickungsgefahr bei hoher Konzentration
Entflammbarkeitsbereich: nicht brennbar
SDS-Typ: Verflüssigtes gas
TRANSPORT:
Versandart:Flüssiges Gas
UN-Nummer: 1080
ADR-Klasse: 2
Klassifizierung: 2A
ADR Piktogramm:
Versandart:Flüssiges Gas
UN-Nummer: 1080
ADR-Klasse: 2
Klassifizierung: 2A
ADR Piktogramm:
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