SCHWEFELHEXAFLUORID N50 (UHP)

SF6
Air Liquide liefert Schwefelhexafluorid - sicher und für jeden Kunden maßgeschneidert.

Anwendungen:
•Labor & Forschung

•Halbleiter-Industrie: Plasmaätzen
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PRODUKTDATEN

Referenz P0964
Physikalischer Zustand flüssig
Gasförmige relative Dichte 5,125
Molmasse 146 g/mol
Zylinderausstattung DIN 477 Nr. 6: W 21,80 x 1/14''
CAS-Nummer 2551-62-4
Komponenten SF6 > 99,999 %
Gesamtreinheit (%) Vol. abs) > 99,999 Vol. %
Verunreinigungen (alle weiteren Details finden Sie im Produktdatenblatt) CF4 ≤ 1 Vol. ppm
CO ≤ 0,1 Vol. ppm
CO2 ≤ 0,5 Vol. ppm
H2O ≤ 3 Vol. ppm
CH4 ≤ 1 Vol. ppm
HF ≤ 0,1 Gew. ppm
N2 ≤ 3 Vol. ppm
O2 ≤ 1 Vol. ppm
Aussehen farblos
Geruch geruchlos
Zertifikat ohne Zertifikat / ohne Anhänger
Lagerfähigkeit 60 Monate
SICHERHEIT:


Gefahrenkennzeichnung: Erstickungsgefahr bei hoher Konzentration
Entflammbarkeitsbereich: nicht brennbar
SDS-Typ: Verflüssigtes gas
SCHWEFELHEXAFLUORID N50 (UHP)
TRANSPORT:

Versandart:Flüssiges Gas
UN-Nummer: 1080
ADR-Klasse: 2
Klassifizierung: 2A

ADR Piktogramm:
SCHWEFELHEXAFLUORID N50 (UHP)
Ausgewähltes Produkt