Bortrichlorid N50 (UHP)
BCl3
Air Liquide liefert Bortrichlorid - sicher und für jeden Kunden maßgeschneidert.
Anwendungen:
•Labor und Forschung
•Halbleiter-Industrie: Plasmaätzen, Borlieferant für die Ionenimplantation(p-Dotierung)
Anwendungen:
•Labor und Forschung
•Halbleiter-Industrie: Plasmaätzen, Borlieferant für die Ionenimplantation(p-Dotierung)
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PRODUKTDATEN
| Referenz | P0444 |
| Physikalischer Zustand | flüssig |
| Gasförmige relative Dichte | 4,06 |
| Molmasse | 117,169 kg/kmol |
| Zylinderausstattung | DIN 477 Nr. 8 |
| CAS-Nummer | 10294-34-5 |
| Komponenten | BCl3 ≥ 99,999 vol%* |
| Bestandteile | BCl3 99,999 vol% |
| Verunreinigungen (alle weiteren Details finden Sie im Produktdatenblatt) |
CH4
≤1 ppmv
Cl2 ≤2 ppmv CO ≤5 ppmv CO2 ≤5 ppmv N2 ≤20 ppmv Säure als HCl ≤100 ppmv O2 + Ar ≤10 ppmv COCl2 ≤5 ppmv |
| Aussehen | farblos |
| Geruch | stechend |
| Lagerfähigkeit | 24 Monate |
SICHERHEIT:
Gefahrenkennzeichnung: giftig; ätzend; korrosiv
Entflammbarkeitsbereich: nicht brennbar
SDS-Typ: Verflüssigtes gas
Gefahrenkennzeichnung: giftig; ätzend; korrosiv
Entflammbarkeitsbereich: nicht brennbar
SDS-Typ: Verflüssigtes gas
TRANSPORT:
Versandart:Druckgasflaschen
UN-Nummer: 1741
ADR-Klasse: 2
Klassifizierung: 2 TC
ADR Piktogramm:
Versandart:Druckgasflaschen
UN-Nummer: 1741
ADR-Klasse: 2
Klassifizierung: 2 TC
ADR Piktogramm:
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