Bortrichlorid N50 (UHP)
BCl3
Air Liquide liefert Bortrichlorid - sicher und für jeden Kunden maßgeschneidert.
Anwendungen:
•Labor & Forschung
•Halbleiter-Industrie: Plasmaätzen, Borlieferant für die Ionenimplantation (p-Dotierung)
Anwendungen:
•Labor & Forschung
•Halbleiter-Industrie: Plasmaätzen, Borlieferant für die Ionenimplantation (p-Dotierung)
PRODUKTDATEN
| Referenz | P0444 |
| Physikalischer Zustand | flüssig |
| Relative Dichte (Gekühlt) | Schwerer als Luft |
| Molmasse | 117,169 kg/kmol |
| Zylinderarmaturen | DIN 477 Nr. 8 |
| CAS-Nummer | 10294-34-5 |
| Komponenten | BCl3 ≥ 99,999 % |
| Bestandteile (% Vol. abs) | BCl3 99,999 vol% |
| Verunreinigungen (alle weiteren Details finden Sie im Produktdatenblatt) |
CH4
≤1 ppmv
Cl2 ≤2 ppmv CO ≤5 ppmv CO2 ≤5 ppmv N2 ≤20 ppmv Säure als HCl ≤100 ppmv O2 + Ar ≤10 ppmv COCl2 ≤5 ppmv |
| Aussehen | farblos |
| Geruch | stechend |
| Lagerfähigkeit | 24 Monate |
| Weitere Informationen | Das Produkt ist deutschlandweit lieferbar. |
SICHERHEIT:
Risiken: giftig; ätzend; korrosiv
Entflammbarkeitsbereich: nicht brennbar
SDS-typ: Verflüssigtes gas
Risiken: giftig; ätzend; korrosiv
Entflammbarkeitsbereich: nicht brennbar
SDS-typ: Verflüssigtes gas
TRANSPORT:
Versandart: Druckgasflaschen
UN-Nummer: 1741
ADR-Klasse: 2
Klassifizierungscode: 2 TC
Pictogrammes ADR:
Versandart: Druckgasflaschen
UN-Nummer: 1741
ADR-Klasse: 2
Klassifizierungscode: 2 TC
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