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C3H6
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CF4
Cl2
HCI
N2O
SF6
i-C4H10
(CH3)2O
BCl3
C3F8
C4F8
C4H10
D2
F2
HF
SO2
Xe
n-C4H10
≥ 99,5 %
≥ 99,999 %
≥ 99,995 %
≥ 99,95 %
≥ 99,9 %
≥ 99,9999 %
≥ 90,00 %
≥ 99,0 %
≥ 99,99 %
≥ 75,00 %
≥ 99,9995 %
> 97 %